山西仁荷微电子科技有限公司

仁荷微电子科技有限公司主要从事质量流量器的研制、开发、制造、销售以及质量流量器各种配件模具的设计、加工等相关的服务。产品包括超高质量的气体质量流量控制仪器及测量仪器、气体工艺解决方案和全球服务支持方案。本公司产品气体质量流量控制器广泛应用于工业气体、石油、化工、医疗、电子及微电子、半导体、太阳能光伏、各类实验室、研究所、生物医药、标准检测等各类高新技术领域，为客户提供各种气体管道输送系统的全面服务。深受广大客户的肯定及认同。

我公司生产的气体质量流量控制器所使用的技术全由我们独家技术，具有自主知识产权，产品的每一个部件都有我们自己设计制作，且已取得了多项技术专利申请 ,气体质量流量控制器每一个部件我们都以精益求精的质量服务广大客户，让客户体验到自动化流量控制设备带来的改变，为现有的产品技术升级提供基础服务。 致力于为客户开发“生产工艺最优化和成本化”的解决方案及相关产品。并且能够提供高效优质的售后服务。

产品优势：
本公司自主开发研制的产品质量流量计，是一种先进的智能精密质量流量测量仪表。可直接用来测量管道中介质的质量流量及总量、体积流量及总量、介质的密度、温度、溶液的浓度以及较均匀混合的两种液体各自的浓度等参数。 该流量计即使在恶劣的工作环境下也能表现出优异的性能。对工况条件也没有苛刻的要求。具有测量精度高、量程比大、工作稳定可靠、对安装要求低、对流体状态要求低，压力损失小等优点，且易清洗、具备自排空功能；其基本技术指标已达到国际先进水平， 每台传感器都由不锈钢材料制造，变送器的多种输出能满足您的各种需求。我公司生产的产品所使用的技术全由我们独家技术，具有自主知识产权，产品的每一个部件都有我们自己设计制作，且已取得了多项技术专利申请
MF系列

MF-50/100/200C   MF-100/200M
MF产品系列特点：
有很宽的工作压力范围，产品可以从真空直到10Mpa;本产品可以使用多种气体介质（包括一些腐蚀性气体，如三氟化硼、三氯化硼、氯化氢、氟化氢等等）；有很宽的流量范围，产品最小流量范围可达0~10sccm，最大流量范围可达0~30slpm。流量控制范围是满量程的2~100%（量程比为50:1）。
——耐高压（最大工作压力可达100bar）
——响应时间快≤1sec
——模拟输入输出接口（0-5Vdc或4-20mA可选）
——连接尺寸与其他标准质量流量器兼容
——尺寸小
——连接方便，快拆快拧
——交货周期短
——优惠的价格极具性价比
——准确率高
——稳定的流量控制
——压力范围广

用途和特点
气体质量流量控制器（MFC）在石化工业、生化、半导体和集成电路工业、特种材料学科、医药、蔬果保鲜、加气饮料、环保和真空等多种领域的科研和生产中有着重要的应用。其典型的场合包括：电子工艺设备，如：氧化、CVD、MOCVD、扩散、外延、等离子刻蚀、离子注入、溅射、以及微反应装置、混气配气系统、真空镀膜设备、光纤熔炼、气相色谱仪及其他分析仪器。
结构

气体质量流量计由流量传感器（Sensor），分流器通道和流量放大电路等部件组成；在气体质量流量计的基础上，再加上调节阀门和PID控制电路就构成了气体质量流量控制器。
工作原理
•流量传感器采用毛细管传热温差量热法原理气体的质量流量（无需温度压力补偿）。
•将传感器加热电桥测得的流量信号送入放大器放大，放大后的流量检测电压与设定电压进行比较，再将差值信号放大后去控制调节阀门，闭环控制流过通道的流量使之与设定的流量相等。
•分流器决定主通道的流量。
•与之配套的流量显示仪上设置有稳定电源，3位半数字电压表，设定电位器，外设、内设转换和三位阀控开关等。
•控制器输出的流量栓检测电压与流过通道的质量成正比，满量程（F.S）流量检测输出电+5V。气体质量流量控制器的流量控制范围是（2~100）%F.S（程比为50：1）

主要技术指标

编号 项目 MF-200C MF-200M
1 流量规格（N2） 10sccm～30slpm 
2 准确度 ±1％F.S(Full Scale)
3 重复精度 ±0.25％F.S（Full Scale）
4 响应时间 ≤2sec（特别要求时：≤1sec）
5 耐压 ≤90bar
6 工作环境温度 0℃～50℃
7 输入输出信号 0～5V 0～5V or 4～20mA
8 供电 +15Vdc or +24Vdc   350mA
9 漏率 1×10atm.cc/sec
10 使用范围 2～100％满量程